Raumlufttechnik RLT 13 versorgt die Korridore 1-3 inklusive Servicezonen SZ1, SZ1/2, SZ2/3
Bauherr und Auftraggeber für etna: Photronics MZD GmbH
Objektbeschreibung
Photronics MZD GmbH ist die deutsche Niederlassung von Photronics Inc. zur Herstellung von Fotomasken für die Halbleiterindustrie und andere Anwendungen. Sie ist im Dresdner Silicon Saxony seit 1995 vertreten.
Leistungsumfang
etna plante und realisierte die Raumlufttechnik RLT 13 mit Anschluss an die Bestandskanäle des Reinraumes und der Heizungs-/Kälteverrohrung.
Raumlufttechnik:
RLT 13 – Außenlufterneuerung (10 % – 50 %)
- mit Umluftanteil
- mit Heizen, Kühlen, Befeuchten, Nachheizen
- Außenluftmenge 5.500 – 29.000 m³/h
- Zuluftmenge 55.000 m³/h
- Abluftmenge 28.400 m³/h
- Fortluftmenge ca. 6.100 m³/h
- Prozessabluft über Bestandsanlagen
Zentrale Gebäudeleittechnik:
- Die Datenüberwachung, Grenzwertalarmierung und Speicherung erfolgt auf der Gebäudeleittechnik.
- Monitoring von Klimamesswerten des Reinraumes
www.photronics.com
